型号 | MicroLine 300 | 加工定制 | 是 |
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操作方式 | 遥杆控制 | 分辨率 | 0.001mm |
测量行程 | 其他mm | 放大倍率 | 10-2000 |
测量精度 | 10nm | 外形尺寸(长*宽*高) | 280x507x850mm |
测量范围(XYZ): | 200×200×25 | 最大承重: | 2kg |
标配镜头 | 10x | ||
MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。
主要技术参数:◆ 最大承重:2kg
◆ 标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy :10nm (100X lens ) Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range :0.5um~400um;
◆ The field measurement repeatability (100X lens):on wafer < 0 0.010m(1δ);
on mask plate 0.005um(1δ);
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens : standard :10X
optional :5X,20X,50X,100X。
MicroLine 系列 主要用于测量半导体、MEMS 晶圆、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多层套刻、圆、对接误差等)量测。
MicroLine 临界尺寸测量系统设计应用于半导体和MEMS晶圆以及光掩模CD量测。Microline 系列可自动测量线宽,迭置重合,和其他关键尺寸。
MicroLine 装备有高性能光学显微镜,高精度运动平台,可测量0.5 微米到400 微米大小的产品,测量精度和重复性在10nm (1 σ ,100倍物镜)。